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国产MEMS品牌正崛起 西人马凭何立足MEMS传感器市场?_科技频道_

发布日期:2020-07-24 06:10   来源:未知   

(以下全文来自集微网)

如今的MEMS芯片及传感器市场,除了历史悠久的国际品牌,许多中国初创芯片公司也进入了大家的视野,这其中就包括2015年成立的西人马公司。虽然西人马在MEMS芯片及传感器领域起步较晚,但却走出了一条不同于其他企业的自主创新之路。

自创立以来,西人马始终立足于感知与人工智能的核心技术的研发,通过持续、大幅度的投入,每年以几百项专利的速度快速递增。持续的研发投入也带来了丰硕的成果,目前西人马在MEMS芯片与高端传感器领域已拥有先进的自主研发技术、检测设备和生产制造基地,具有强大的生产能力以及满足客户个性化需求的订制能力。

近日,集微网记者有幸受到西人马公司的邀请,得以探秘其先进的芯片及传感器生产车间,该车间不仅拥有芯片的加工能力,还具备全套规范的传感器性能与可靠性检测能力,可为客户提供高品质、高良率、高效率的服务。

智造驱动企业高质量运行

据介绍,西人马公司MEMS芯片及传感器生产线车间,配备8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能传感器芯片产线和中国先进的MEMS器件加工平台,拥有6000平方米的高等级洁净车间,具备深硅刻蚀、键合、光刻、原子力显微镜、扫描电镜等先进的制造、封装与检测设备,具备一体化的量产能力。

集微网记者走进西人马MEMS芯片无尘车间,看到一台台高科技设备开足马力运转,设备上闪烁的灯光提醒着人们,生产线正忙碌着。

在工作人员的带领下,首先来到刻蚀车间,在MEMS芯片制程中,刻蚀就是用化学的、物理的或同时使用化学和物理的方法,在光刻的基础上有选择地进行图形的转移,其工艺水平将直接影响到最终产品质量及生产技术的先进性。“这台PT-4设备使用ICP(电感耦合等离子体)来实现刻蚀,钝化沉积和刻蚀交替进行,快速形成一个垂直的侧壁,具有高选择比和高刻蚀速率,广泛运用于我们的MEMS芯片上。”工作人员对记者表示。